超純水系統(tǒng)跟著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的出產(chǎn)加工過(guò)程中，對(duì)于水質(zhì)的要求也越來(lái)越高。為了保證出產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純?cè)牧稀⒏呒儦怏w、高純化學(xué)藥品外，高純水也是其中最要害的因素之一。
超純水系統(tǒng)高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。超純水系統(tǒng)總體來(lái)說(shuō)一般可分為三個(gè)部分：超純水制造區(qū)（CUB部分）、超純水拋光循環(huán)區(qū)（FAB部分）、超純水輸送管網(wǎng)（FAB各使用區(qū)）。其中超純水制造區(qū)最為復(fù)雜，其又可分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。
超純水系統(tǒng)預(yù)處理部分首要包含：沙濾、活性碳塔（有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池）；一次純水處理部分首要包含：陰陽(yáng)離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過(guò)濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透；超純水處理部分首要包含：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過(guò)濾器。考慮到在向工藝設(shè)備輸送高純水過(guò)程中，輸水管道會(huì)對(duì)水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)首要以MB為核心，再加上超濾設(shè)備（UF），以除去在向工藝出產(chǎn)線輸送純水的過(guò)程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。
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